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grounded-cathode相关论文
阴极真空弧沉积中MEVVA源两种工作状态的比较
介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地2种不同工作状态下的工作特性,发现阳极接地时,因沉积靶室入口法的第二阳极作用。聚......
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真空弧沉积
阳极接地
等离子体源
阴极
MEVVA源
arc deposition
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MEV
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